納米機電系統(NEMS)傳感器和執行器可用于開發下一代移動、可穿戴和可植入設備。但是，這些NEMS設備需要超小型，靈敏且可以低成本制造的傳感器。在這里，我們證明了具有附加的硅質檢測物質的懸浮雙層石墨烯帶可作為彈簧質量和壓阻傳感器的組合。這種傳感器是利用與大規模半導體制造技術兼容的工藝來制造的，可以生產出比傳統最先進的硅加速度計至少小兩個數量級的NEMS加速度計。利用我們的設備，我們還提取了雙層石墨烯的楊氏模量值，并表明石墨烯帶具有顯著的內置應力。
Fig. 1：石墨烯帶的設計和制造。
Fig. 2：附有檢測質量的懸浮石墨烯帶的機電表征。
Fig. 3：附有檢測質量的懸浮石墨烯帶的靜態力學表征。
Fig. 4：附有檢測質量的懸浮石墨烯帶的動態力學表征。
相關研究成果于2019年由瑞典斯德哥爾摩皇家理工學院Frank Niklaus課題組，發表在
Nature Electronics (
https://doi.org/10.1038/s41928-019-0287-1)上。原文：Graphene ribbons with suspended masses as transducers in ultra-small nanoelectromechanical accelerometers
