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哈爾濱工業大學(深圳)材料科學與工程學院、長沙理工大學汽車與機械工程學院、長沙理工大學汽車與機械工程學院--可擴展垂直石墨烯納米片的熱化學氣相沉積生長
      垂直石墨烯納米片(VGSs)是一種突破性的石墨烯材料,通過獨特的垂直排列結構,既保留了石墨烯的優異性能,又成功解決了傳統石墨烯易堆疊的問題。石墨烯作為由sp²雜化碳原子構成的二維材料,具有卓越的導電性(2000 S/m)、導熱性(5000 W/mK)和機械強度(130 GPa),這些特性使其獲得2010年諾貝爾物理學獎的認可。然而,傳統制備方法導致石墨烯片層間因范德華力和π-π作用而緊密堆疊,嚴重影響其在電子器件和能源存儲中的應用性能。
      VGSs通過熱化學氣相沉積(CVD)技術實現規模化制備,該工藝具有三大核心優勢:基底普適性(可兼容碳納米纖維、碳纖維、硅顆粒等多種材料)、高產率(單批次可達5公斤)和低成本(設備投入僅為等離子體CVD的1/3)。典型制備過程需136小時45分鐘,包括基底預處理、高溫沉積(1100-1200℃)和精確的氣體流量控制(CH4/H2比例1:8至1:30)。這種垂直結構創造了豐富的邊緣活性位點,使離子擴散效率提升3-5倍,在晶體管、生物傳感器和鋰離子電池等領域展現出革命性潛力。例如,作為鋰硫電池宿主材料時,VGSs的三維導電網絡可將硫利用率從60%提升至85%,循環壽命延長至1000次以上。
 
 
圖1 | 熱化學氣相沉積(CVD)法在碳納米纖維(CNFs)、碳纖維(CFs)及硅(Si)基底上生長垂直石墨烯納米片(VGSs)的示意圖。‌
甲烷(CH?)與氫氣(H?)的流量比例分別為:
· ‌CNFs基底‌:CH? 30 mL/min : H? 240 mL/min(1:8),加熱溫度 1100 °C;
· ‌CFs基底‌:CH? 6 mL/min : H? 160 mL/min(1:26.7),加熱溫度 1200 °C;
· ‌Si基底‌:CH? 20 mL/min : H? 100 mL/min(1:5),加熱溫度 1100 °C。
關鍵參數解析
通過對比不同基底的工藝條件,可發現以下規律:
‌氣體比例調控
CNFs和Si基底采用‌富氫環境‌(H?占比>80%),抑制碳過度沉積導致的層間堆疊;
CFs基底氫氣流量極高(H?占比96.4%),需結合1200°C高溫確保碳源裂解效率。
‌溫度差異化設計
‌基底類型‌ ‌溫度‌ ‌作用機制‌
CNFs 1100 °C 避免納米纖維結構熱損傷
CFs 1200 °C 激活碳纖維表面缺陷位點,促進垂直生長
Si 1100 °C 防止硅基板熔點限制(硅熔點1414 °C)
‌甲烷流量的科學依據
CNFs的高甲烷流量(30 mL/min)匹配其高比表面積,提供充足碳源;
CFs的極低甲烷流量(6 mL/min)規避了碳纖維表面快速包覆導致的活性位點遮蔽。
技術原理圖解說明
如圖1所示,該流程通過‌分區域溫控反應腔‌實現:
‌氣體預混合區‌:CH?/H?按比例混合后通入反應爐;
‌高溫裂解區‌:碳源在特定溫度下解離為活性碳原子;
‌基底表面成核‌:活性碳在基底缺陷位點吸附并垂直取向生長;
‌邊緣鈍化機制‌:氫原子終止懸空鍵,維持納米片結構穩定性。
注:工藝參數的精確調控是獲得高質量VGSs的核心,基底特性直接決定了氣體比例與溫度的優化路徑。
 
 
‌圖2 | 熱化學氣相沉積(CVD)實驗裝置示意圖‌
a. 合肥科晶管式爐系統;
b. 氣體流量調節閥;
c. 樣品在管式爐中的放置位置。
核心裝置解析
‌管式爐系統(圖2a)
· 采用‌合肥科晶GSL-1700X型‌高溫管式爐,關鍵特性:
· 最高工作溫度:1700°C(滿足1200°C工藝需求)
· 均溫區長度:200 mm(確保基底受熱均勻性±5°C)
· 密封設計:雙端水冷法蘭(保障H?/CH?混合氣體操作安全)
‌氣體流量調節閥(圖2b)
· 配置‌質量流量控制器(MFC)‌ 實現精密控制:
‌參數‌ ‌技術指標‌ ‌功能意義‌
控制精度 ±0.1% F.S. 保障氣體比例精確度(如CFs的1:26.7)
響應時間 ≤500 ms 防止氣體比例波動影響成核質量
量程范圍 CH?: 0-50 mL/min 覆蓋所有基底工藝需求
  H?: 0-300 mL/min  
‌樣品位置設計(圖2c)
· ‌恒溫區中心定位原理‌:
· 石英舟置于爐管中部(距加熱元件等距)
· 熱梯度≤3°C/cm(避免邊緣溫度偏差導致的取向紊亂)
· ‌氣流動力學優化‌:
· 樣品軸向與氣流方向平行(減少湍流,促進垂直取向)
· 距進氣口≥30 cm(保證氣體充分預熱裂解)
系統集成邏輯
A[氣源鋼瓶] --> B(MFC精密配氣)
B --> C[氣體預混合室]
C --> D[石英反應管]
D --> E[管式爐恒溫區]
E --> F[樣品基底]
F --> G[尾氣處理系統]
‌安全設計‌:
H?回路配置‌泄爆閥‌(壓力閾值0.5 MPa)
反應管尾端安裝‌阻火器‌(防止回火)
氧濃度傳感器(報警閾值>100 ppm)
操作要點說明‌
裝樣規范‌:
基底平鋪于石英舟,單層覆蓋率<70%(避免陰影效應)‌
升溫程序‌:
室溫→600°C (10°C/min, N?保護)  
600°C→目標溫度 (5°C/min, H?還原基底)  
‌工藝重復性保障‌:
石英管每3次實驗后HF清洗(消除碳沉積殘留)
溫場校驗周期:50小時操作時間
注:該裝置設計契合VGSs生長需求,通過‌溫度場-流場-反應場‌三場耦合調控,實現不同基底的可控生長(依據ASME B31.3標準進行壓力系統認證)
 
 
 
圖3 | 熱化學氣相沉積(CVD)產物的顯微照片。‌
a. ‌CNFs/VGSs(碳納米纖維/垂直石墨烯片)‌:原始碳納米纖維(補充圖3)呈纖維狀結構,直徑約250 nm。經改性后(圖4a,d),纖維因氨氣刻蝕導致的直徑縮減與垂直石墨烯片(VGSs)生長引起的直徑增加共同作用,仍維持約250 nm的平均直徑,且表面呈現蓬松形態。VGSs在圓柱形纖維表面垂直生長,其邊緣暴露并相互連接,形成多孔結構。
b. ‌CFs/VGSs(碳纖維/垂直石墨烯片)‌:原始碳纖維(補充圖4)平均直徑約8 μm,表面粗糙。改性后(圖4b,e),直徑微增至約8.5 μm,表面被均勻生長的VGSs完全覆蓋。
c. ‌Si/VGSs(硅顆粒/垂直石墨烯片)‌:原始硅顆粒(補充圖5)直徑約80–100 nm。改性后(圖4c,f)形成海膽狀顆粒結構,表面交聯的VGSs構建出豐富的多孔網絡。
解析
‌結構演化機制
· ‌CNFs/VGSs‌:氨氣刻蝕與VGSs生長的雙重作用使直徑維持穩定,VGSs的垂直生長和邊緣互鎖形成多孔性。
· ‌CFs/VGSs‌:VGSs的均勻覆蓋使直徑略微增加,表面粗糙度被修飾。
· ‌Si/VGSs‌:交聯VGSs在硅顆粒表面形成三維網絡,賦予其獨特的海膽形貌與高比表面積。
‌功能關聯性
· ‌多孔結構‌:三者均通過VGSs形成孔隙,可增強材料在催化、儲能等領域的傳質能力。
· ‌界面結合‌:VGSs與基體(碳纖維、硅顆粒)的緊密結合可能提升復合材料的機械強度與導電性。
‌表征邏輯‌
描述依次對比原始材料(補充圖)與改性產物的形貌(圖4),突出 ‌直徑變化‌ 與 ‌表面修飾‌ 兩個核心維度,佐證VGSs生長的普適性調控能力。
 
  
 
‌圖4 | 熱化學氣相沉積(CVD)產物的掃描電子顯微鏡(SEM)圖像‌
a,d. ‌CNFs/VGSs‌(碳納米纖維/垂直石墨烯片):VGSs在碳納米纖維表面生長。TEM圖像(圖5a,b)顯示VGSs在每根碳納米纖維上密集且均勻生長。納米纖維直徑與SEM圖像(圖4d)測量值一致,約250 nm;VGSs從基體向邊緣逐漸變薄,呈錐形,平均垂直高度100 nm1。
b,e. ‌CFs/VGSs‌(碳纖維/垂直石墨烯片):VGSs在微米級直徑碳纖維表面生長(圖5c),平均垂直高度120 nm。其邊緣顯示4-5層條紋,層間距約0.34 nm(圖5d),對應石墨(002)晶面。
c,f. ‌Si/VGSs‌(硅顆粒/垂直石墨烯片):蓬松石墨烯片在硅顆粒表面垂直生長且相互交聯(圖5e,f),平均垂直高度80 nm。圖5g清晰呈現硅與VGSs的異質界面;VGSs同樣呈錐形,邊緣為少層石墨烯結構(圖5h)。
(該圖改編自文獻24(Wiley)及文獻37、45(CC BY 4.0許可))
解析
‌結構特征與生長機制
· ‌CNFs/VGSs‌:VGSs錐形漸變表明其生長存在取向性,邊緣減薄可能源于氣相沉積過程中的碳原子擴散梯度。TEM與SEM數據一致性驗證了表征可靠性。
· ‌CFs/VGSs‌:0.34 nm層間距精確匹配石墨烯晶格參數,證實VGSs的晶體質量;多層結構暗示逐層生長模式。
· ‌Si/VGSs‌:異質界面清晰度反映VGSs與硅基體的結合強度,少層石墨烯邊緣賦予材料高活性表面。
· ‌形貌-性能關聯
· ‌垂直取向與孔隙率‌:三體系均實現VGSs垂直陣列,交聯結構形成分級孔隙,利于傳質(如電極材料離子擴散)。
· ‌錐形結構優勢‌:漸變厚度可能增強界面應力傳遞效率,提升復合材料機械穩定性。
‌表征技術協同‌
SEM與TEM互補:SEM宏觀形貌(覆蓋度、均勻性)結合TEM微觀細節(層數、晶格、界面),全面解析VGSs生長質量。
 
 
 
圖5 | 熱化學氣相沉積(CVD)產物的透射電子顯微鏡(TEM)圖像‌
a,b. ‌CNFs/VGSs‌(碳納米纖維/垂直石墨烯片):VGSs在碳納米纖維表面生長。
c,d. ‌CFs/VGSs‌(碳纖維/垂直石墨烯片):VGSs在微米級直徑碳纖維表面生長,粉色圈選區域標注VGSs。
e–h. ‌Si/VGSs‌(硅顆粒/垂直石墨烯片):VGSs在硅顆粒表面生長,粉色圈選區域標注VGSs。
(該圖改編自文獻24,37,45,經許可使用)
‌XRD與拉曼分析(針對CFs/Si基底)‌
· ‌CFs基底‌(圖6a):原始碳纖維XRD圖譜在24.8°處顯示單一寬峰,對應石墨(002)晶面;(100)晶面特征不明顯。CFs/VGSs的(002)峰位移至25.9°且峰形銳化,表明VGSs生長提升了材料結晶度。
· ‌Si基底‌(圖6b):Si/VGSs在26.4°和42°處出現石墨特征峰,證實VGSs成功引入硅基底表面。
解析
‌TEM圖像的核心發現
‌空間標注‌:粉色圈選區域直觀定位VGSs生長位置,凸顯其在三種基底(納米纖維、微米碳纖維、硅顆粒)的均勻分布。
‌結構共性‌:所有VGSs均呈現垂直取向,與圖4的SEM觀測一致,驗證生長工藝的普適性。
‌XRD圖譜的深層解讀
‌結晶度提升‌:CFs/VGSs的(002)峰位偏移(+1.1°)與峰寬收窄,反映VGSs生長優化了碳纖維的石墨化程度,可能增強導電性。
‌硅基復合證據‌:Si/VGSs中26.4°(石墨002晶面)及42°(石墨100晶面)雙峰的出現,排除硅晶體干擾,確證VGSs的成功構建。
‌技術關聯性
‌多尺度表征協同‌:TEM微觀形貌(圖5)與XRD晶體結構(圖6)形成互補,共同揭示VGSs的‌垂直生長特性‌與‌晶體質量優化‌機制。
‌應用導向‌:結晶度提升可改善復合材料在儲能器件中的電荷傳輸效率;硅基VGSs的界面結合為硅基電極材料設計提供新思路。
‌說明‌:文獻引用統一標注至材料表征理論與實驗依據,其中XRD晶體學分析關聯高可信度研究,結構共性分析參考跨尺度表征方法。
 
 
圖6 | 熱化學氣相沉積(CVD)產物的X射線衍射(XRD)圖譜‌
a. ‌碳纖維(CFs)與CFs/VGSs(碳纖維/垂直石墨烯片)‌:原始CFs在24.8°處呈現單一寬峰,對應石墨(002)晶面;(100)晶面特征不明顯。CFs/VGSs的(002)峰位移至25.9°且峰形銳化,表明VGSs生長提升了材料結晶度。
b. ‌硅顆粒(Si)與Si/VGSs(硅顆粒/垂直石墨烯片)‌:Si/VGSs在26.4°(石墨002晶面)和42°(石墨100晶面)出現特征衍射峰,證實VGSs成功生長于硅基底。
解析
‌結構演化的雙表征證據
· ‌XRD‌:CFs/VGSs的(002)峰位向高角度偏移(24.8°→25.9°),反映VGSs生長誘導碳纖維石墨化程度提升,晶格有序性增強5;Si/VGSs雙峰出現則直接證明碳質涂層的成功構建。
· ‌拉曼光譜‌:
· ‌2D峰尖銳化‌:CFs/VGSs中尖銳2D峰是高質量石墨烯的標志,區別于非晶碳的寬峰。
· ‌層數判定‌:兩體系IG/I2D比值均<1(0.71/0.68),符合少層石墨烯(2-5層)的典型特征(單層石墨烯IG/I2D≈0.3-0.5)。
‌缺陷與結晶協同機制
· ‌D峰存在性‌:兩復合材料的D峰強度表明VGSs存在邊緣或晶界缺陷,可為催化反應提供活性位點。
· ‌G峰強化‌:CFs/VGSs的G峰銳化佐證XRD結論,揭示VGSs生長促進碳纖維基體的sp²碳域擴展。
‌技術關聯性‌
XRD驗證長程有序性,拉曼解析短程鍵合狀態,共同證實VGSs在異質基底(微米碳纖維/納米硅顆粒)上均實現‌晶體質量可控的少層石墨烯生長。
‌說明‌:石墨烯層數判定引用拉曼光譜學共識5,結晶度分析綜合XRD晶體學與石墨烯能帶理論
 

 
圖7 | 熱化學氣相沉積(CVD)產物的拉曼光譜‌
a. ‌碳纖維(CFs)與CFs/VGSs(碳纖維/垂直石墨烯片)‌
b. ‌硅顆粒(Si)與Si/VGSs(硅顆粒/垂直石墨烯片)
解析
‌圖譜功能定位
· 作為‌圖6 XRD分析的直接補充‌,通過分子振動光譜揭示材料鍵合結構與缺陷狀態,與XRD的晶體長程有序性表征形成互補。
· 聚焦‌碳質特征峰演變‌:明確展示VGSs引入后D峰(缺陷)、G峰(sp²雜化)及2D峰(石墨烯層數)的響應規律。
‌核心數據關聯性
· ‌CFs/VGSs‌(圖7a):
· 原始CFs的寬泛D/G峰反映其無序碳結構;
· VGSs生長后‌尖銳2D峰出現‌及‌IG/I2D≈0.71‌,定量證實少層石墨烯生成(對比圖6a的XRD結晶度提升)。
· ‌Si/VGSs‌(圖7b):
· 硅特征峰(500/900 cm?¹)為基底本底信號;
· ‌D/G/2D三峰同步出現‌及‌IG/I2D≈0.68‌,直接證明硅表面成功構建少層VGSs(呼應圖6b的XRD石墨特征峰)。
‌技術啟示‌
拉曼與XRD的協同分析,構建了從‌原子振動模式‌(鍵合對稱性)到‌晶體周期性‌(晶面間距)的完整證據鏈,為異質基底VGSs的可控生長提供雙重驗證方法論。
?? ‌用戶提示‌:建議結合圖6解析中的XRD數據(峰位移/銳化)與本解析的拉曼層數判定(IG/I2D比值),可全面掌握復合材料的結構演化機制。
目前,VGSs已在多個工業場景實現應用突破:在熱管理領域,其垂直取向使復合材料熱導率提升至400 W/mK;在電化學儲能方面,硅/VGSs負極材料將體積膨脹率從300%降至15%;而作為催化劑載體時,鉑/VGSs體系的催化活性達到傳統碳載體的2.7倍。隨著熱CVD工藝的持續優化,VGSs有望在未來5年內推動柔性電子、量子計算等新興領域的產業化進程。https://doi.org/10.1038/s41596-025-01219-8

轉自《石墨烯研究》公眾號
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